本產品是一種用于半導體晶圓制造過程中對聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化 的專用設備，烘箱溫度最高可達450°c
性能特點：
?真空度可達10 Pa
?箱體內氧含量：≤20ppm，提供氧含量檢測接口
?曰本優易控觸摸屏，升降溫斜率控制
?內腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質制作
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型號MODEL |
SXYJ-1 |
SXYJ-2 |
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內箱尺寸（H*W*D) CM Interior dimensions |
20*20*40 |
30*30*60 |
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溫度范_ Temp.range |
RT+20°C ?450°C |
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溫度波動度 Temp.constancy |
士 0.5°C |
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真空度 |
lOpa |
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氧含量 |
≤20ppm |
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內箱材質 Interior material |
SuS316 不銹鋼 Stainless Steel Plate |
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外箱材質 Exterior material |
鋼板靜電噴涂表面處理Baked Painting Steel |
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保溫材料 Insulatio material |
硅酸錦纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton |
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保護裝置 Safety devices |
聲光報警器超溫保護器Audible and visual alarm，Over Temp |
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功率（kva) |
9.0 |
12.0 |
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電源 |
AC380V±10%3φ 50HZ |
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*歡迎訂制不同規格尺寸的非標準烘箱
